Anahtar Kelimeler: Doğrudan Kaplama alüminyum ürünler, PECVD işlemi, DLC film, Elmas Benzeri Karbon Film, Püskürtme Optik film, Gencoa Magnetron Püskürtme Katot, İyon Kaynağı, PA PVD
RTAC950-SP Tasarım Özellikleri:
Teknik özellikler
1. Ultimate Vakum Basıncı: 8.0 * 10-4 Pa daha iyi;
3. Pompalama Süresi: atm ila 1.0 × 10-3 Pa≤15 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Biriktirme kaynağı: Gencoa magnetron püskürtme katotları, yönlendirilmiş ark katotları, İyon kaynağı
5. işletim modeli: tam otomatik / yarı- otomatik / manuel
6. Isıtma: oda sıcaklığından maks. 500 ℃,
9. PECVD ve PA PVD işlemi için iyon kaynağı.
Vakum kaplama makinesi aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
1.1 Boyut: İç Derinlik 950mm
İç Yükseklik: 1350mm
1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304
Kapı ve flanşlar SUS304
Odası güçlendirmek yapısı: SS41 yumuşak çelik, boyalı kaplama yüzey işleme ile.
Boyalı kaplama yüzey işlemine sahip oda şasisi SS41 yumuşak çelik.
1.3 Oda Kalkanı: SUS304
1.4 Görünüm Penceresi: oda kapılarında -2
1.5 Vakum Odası Havalandırma Valfi (susturucu dahil)
1.6 Kapı: 2 takım, ön ve arka, SUS304 malzeme
2. Kaba Vakum Pompalama Sistemi:
Yağ döner kanatlı vakum pompası + Tutma Pompası
3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi:
Turbo Moleküler Pompa - 2 set
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi-PLC + Dokunmatik EkranOperasyon Sistemi:
Tedarikçiler:
PLC: Mitsubishi, Model: FX-IN60MR-001 SERİSİ
Elektronik Bileşenler: SCHNEIDER, OMRON.
Güvenlik Koruma Sistemi: Operatörleri ve ekipmanları korumak için çok sayıda güvenlik kilidi (su, mevcut gaz, sıcaklık vb.)
Kaplama Süreçleri Sistemi : Süreç Otomasyonu ve Kontrolü. 3 ay boyunca otomatik olarak hafızaya kaydedilir. Özel kaplama tarifleri verileri: hedef çalışma akımı / voltajı, Kütle Akışı, Vakum basıncı, sıcaklık, kaplama süreleri kaplama kalitesini artırmak için bir analiz için kaydedilir.
4.1 Ana devre: Yok sigorta kesici anahtarı, elektromanyetik anahtar, seri tip C / T
4.2 Güç Kaynağı: MF püskürtme gücü + DC Ark gücü + Önyargı Güç Kaynağı
4.3 Biriktirme kontrol sistemi
4.4 İşletim Sistemi: Dokunmatik Ekran + PLC, reçete kontrolü ve veri kaydı, Otomatik kapanma, otomatik tahliye, otomatik kaplama
4.5 Ölçüm Sistemi
Vakum Basıncı: Vakum Ölçer: Pirani + Penning ölçer + Tam aralıklı vakum ölçer - Avrupa markası
Sıcaklık ölçüm cihazı: Termokupl
MFC: Kütle Akış Kontrolörü (4 yol),
4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış çalışma
4.7 Güç Yükü Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi
5 . Biriktirme Sistemi
5.1 Biriktirme kaynağı: Püskürtme katotları + Ark kaynakları + İyon Kaynağı
5.2 Biriktirme malzemesi: ITO, Titanyum, Krom, Alüminyum, Paslanmaz Çelik, TiAl vb.
6. Alt Sistem
6.1 Hava Basınçlı Valf Kontrol Sistemi
6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve anahtar vana sistemi
7. Çalışma Ortamı
Basınçlı Hava: 5 ~ 8kg / cm2
Soğutma Suyu: Su Giriş Sıcaklığı: 20 ~ 25 ℃, 200 Litre / dak,
Su Giriş Basıncı: 2 ~ 3 kg / cm2,
Güç: 3 Faz 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, ortalama güç tüketimi: 60KW
Kurulum Alanı: (L * G * Y) 4400 * 3200 * 2950mm
Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma
Daha fazla özellik için lütfen bizimle iletişime geçin, Royal Technology size toplam kaplama çözümleri sunmaktan onur duyar.