Endüktif Buharlaşma Kaplama Makinesi
Özet:
Induction heating is widely used in different fields due to high process productivity and universality, cleanness and possibility of full automation. İndüksiyonla ısıtma, yüksek proses verimliliği ve evrenselliği, temizliği ve tam otomasyon olasılığı nedeniyle farklı alanlarda yaygın olarak kullanılmaktadır. As one method of PVD thermal evaporation technology, the process is friendly for environment. PVD termal buharlaşma teknolojisinin bir yöntemi olarak, süreç çevre için dosttur. Since the induction allows reaching temperature of 2000℃ and more, this method is very suitable for industrial production and scientific researches. İndüksiyon 2000 ℃ ve daha fazla sıcaklığa ulaşmaya izin verdiğinden, bu yöntem endüstriyel üretim ve bilimsel araştırmalar için çok uygundur.
The RTEP0404 Induction Evaporation Coating Machine is designed for C60 evaporating deposition on varies of materials. RTEP0404 İndüksiyon Buharlaşma Kaplama Makinesi, C60'ın buharlaşan birikimi için farklı malzemeler üzerinde tasarlanmıştır. C60 manufactures provides R&D and testing results for prospective. C60, geleceğe yönelik Ar-Ge ve test sonuçları sunmaktadır. A strong tool assisting them to expand new applied industries. Yeni uygulanmış endüstrileri genişletmelerine yardımcı olan güçlü bir araç.
The first set is produced for Shanghai University. İlk set Şanghay Üniversitesi için üretildi. Industrial production model is under processing. Endüstriyel üretim modeli devam etmektedir.
Ana Uygulamalar:
İnce film tabakaları ve kaplamaları
Tür:
Dikey yönlendirme, Çan Kavanoz Modeli, Üstten Açıklık
tasarlamak Özellikleri:
Teknik özellikler:
1. Ultimate Vakum Basıncı: 9.0 * 10 daha iyi-5 Pa;
Taban Vakum basıncı: 3.0 * 10-4 baba
3. Pompalama Süresi: 1 atm ila 2.0 × 10-3 Pa≤25 dakika (oda sıcaklığı, kuru, temiz ve boş oda)
4. Biriktirme kaynağı: indüksiyon evaporatör, pota
5. çalışma modeli: elle
6. Heating: from room temperature up to max. 6. Isıtma: oda sıcaklığından maks. 1000℃, 1000 ℃,
7. Buharlaşma Gücü: RF radyo frekansı ve güç kaynağı
8. Çalışma Gazı: Ar
Vakum kaplama makinesi, aşağıda listelenen anahtar tamamlanmış sistemi içerir:
1. Vakum Odası
1.1 Boyut: İç Çap 400mm
İç Yükseklik: 400mm
1.2 Malzeme: Vakum Odası SUS304
Odası güçlendirmek yapısı: SS41 yumuşak çelik, boyalı kaplama yüzey işleme ile.
Boyalı kaplama yüzey işlemine sahip oda şasisi SS41 yumuşak çelik.
1.3 Buharlaşma Kalkanı: SUS304
1.4 Görüntüleme Penceresi: oda kapısında
1.5 Vakum Odası Havalandırma Valfi (susturucu dahil)
2. Kaba Vakum Pompalama Sistemi:
İki Aşamalı Yağ Döner Kanatlı Pompa
3. Yüksek Vakum Pompalama Sistemi: Turbo Moleküler Pompa
4. Elektrik Kontrol ve İşletim Sistemi- HMI çalışma ünitesi
4.1 Ana devre: Yok sigorta kesici anahtarı, elektromanyetik anahtar, seri tip C / T
4.2 Buharlaşma Gücü
4.3 Buharlaşma Kontrol Sistemi
4.4 İşletim Sistemi: PLC
4.5 Ölçüm Sistemi
Vakum Basıncı: Vakum Ölçer: Pirani + Penning ölçer
4.6 Alarm Sistemi: Basınçlı hava basıncı, Soğutma suyu akışı, Yanlış çalışma
4.7 Güç Yükü Göstergesi: Gerilim göstergesi ve yük akımı göstergesi
5. . Deposition System Biriktirme Sistemi
5.1 Biriktirme kaynağı: indüksiyon termal evaporatör
5.2 Biriktirme malzemesi: C60
6. Alt Sistemi
6.1 Hava Basınçlı Valf Kontrol Sistemi
6.2 Soğutma Suyu Sistemi: Su akış borusu ve anahtar vana sistemi
6.3 Çalışma gazı: Ar (>% 99.99)
7. Çalışma Ortamı
Basınçlı Hava: 5 ~ 8kg / cm2
Soğutma Suyu: Su Giriş Sıcaklığı: 20 ~ 25 ℃, 200 Litre / dak,
Su Giriş Basıncı: 2 ~ 3 kg / cm2,
Güç: 3 Faz 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, ortalama güç tüketimi: 3kVA
Kurulum Alanı: (L * G * Y) 2000 * 200 * 2000mm
Egzoz: Mekanik pompalar için havalandırma
Hazneyi Açmak / Kapatmak için Otomatik Olarak Yukarı-Aşağı Ünitesini Çekme
Elektrik Muhafaza Sistemi:
Güvenlik İpuçları:
RF radyasyonundan korunma koruması
Müşterilerimizin yüksek üretim verimliliği ve kaplama kalitesi taleplerini karşılayan en uygun kaplama sistemini tasarlamaya ve geliştirmeye çalıştık.
Şirketiniz için özelleştirilmiş kaplama sistemi gerekiyorsa, lütfen düşüncelerinizi, fikirlerinizi ekibimizle paylaşın ve ürün özelliklerinizi gönderin, en iyi çözümleri çözmek için birlikte çalışacağız.